（1）預處理階段
廢氣中可能會含有氯化氫，硫酸霧等酸性氣體或者粉塵，為了防止其對后續設備造成嚴重腐蝕或者對活性炭造成堵塞，需對廢氣進行預處理。預處理采用填料式噴淋洗滌塔，噴淋液選擇堿液酸性氣體進行中和處理或者采用干式過濾器對粉塵進行過濾處理。
（2）活性炭吸附階段
經過前面的預處理后，廢氣通入后端的活性炭吸附/脫附塔進行吸附處理，活性炭表面存在著吸引力（分子間范德華力），將通過活性炭微孔的有機氣體吸附在活性炭表面，去除廢氣中的有機物，達到凈化氣體的作用。
（3）活性炭脫附階段
活性炭脫附時采用蒸汽對活性炭床層直接加熱，將活性炭中吸附的有機成分蒸出，蒸出來的混合蒸汽進入冷凝器中通過冰水對其進行冷卻，冷凝成液態，進入分離桶中分離，分離后的廢水進入污水站，分離后的有機溶劑進入儲罐，用于后續回收。不能被冷凝的不凝氣通入吸附總管，送入吸附罐中進行吸附處理。
（4）活性炭烘干階段
脫附階段有部分蒸汽冷凝成水留在的活性炭床層，脫附完成后需要對床層進行烘干。烘干配置單獨的烘干風機，烘干風機入口設置高效過濾器，并設蒸汽加熱器對新風進行加熱，加熱到60℃左右，通入活性炭罐中將碳層中的水分烘干。烘干后的吸附罐充氮氣進行保護操作，等待下一次吸附。