（1）煙氣經過管道收集，在進入煙氣治理設備之前先經過管道過濾器粗濾，防止大顆粒物進入處理設備，給設備造成影響。
（2）煙氣粗濾后進入預處理模塊，預處理模塊采用油煙分離板構造，將煙氣中夾雜的焦油、粉塵去除。
（3）經過預處理模塊除油煙后，煙氣進入設備的核心處理區域----等離子凈化區，等離子凈化采用注入式等離子發生裝置。外界新鮮空氣經低溫等離子發生裝置，得到等離子體送入等離子凈化區。在等離子凈化區，大部分煙氣分子被等離子體轟擊、氧化后變成無毒、無色、無味的氣體。
（4）夾雜著部分低溫等離子體的煙氣到達光化學模塊。高強輻照場對煙氣成份有破壞作用并產生活潑的次生氧化劑；煙氣成份在氧化劑和光的協同作用下持續發生氧化分解，最終生成二氧化碳和水。
（5）超微凈化模塊設有順流循環噴淋系統、錯流循環噴淋系統、重力沉降、碰撞除塵、氣流均布裝置，可以去除微小粉塵，滿足排放標準。
（6）整個煙氣治理設備中均設計有自清系統，利用循環水對系統進行自動清潔。在光化學區和超微凈化模塊所產生的廢水經過濾系統的過濾后循環利用。
（7）氣體在排放前，再經過機械除霧區。在除霧區內，氣體中夾帶的水霧在折流板功能段內凝聚、滴落。
（8）除霧后，優于國家排放標準的氣體通過引風機排入大氣。